Тонкопленочные сенсоры

Назначение и область применения: Разработаны тонкопленочные металлооксидные и комбинированный термокаталитический и термокондуктометрический сенсоры на термоэлектрическом эффекте. Позволяют селективно определять концентрацию водорода, озона и других газов (0,01-100 об.%) в атмосфере воздуха. Открывается возможность построения на данном принципе селективных сенсоров ряда горючих газов. Мультисенсорные системы, включающие нескольких сенсоров различного типа на одной подложке (бионанотехнологии, медицина, мониторинг окружающей среды, автомобилестроение, микроробототехника, авиационная, ракетная и космическая техника и т.п.).



Последнее обновление 30.06.2010